外资投资的程序主要包括以下几个步骤：
编制可行性研究报告
外资企业需要编制可行性研究报告，这是投资流程的第一步。报告应详细分析项目的市场前景、技术可行性、经济效益等方面。
审批机关审批
可行性研究报告需提交给审批机关进行审批。审批机关包括发改委、商务部门等，根据项目的性质和规模，可能还需要其他相关部门的核准或备案。
提交相关证件和合同章程
除了可行性研究报告，外资企业还需提交外资企业章程、进口物资清单等相关证件，以及投资合同和章程。这些文件都需要经过审批机关的审批。
企业设立和工商登记
审批通过后，外资企业需要向当地工商局提交企业设立申请书等相关材料，并在规定时间内完成工商登记。
外汇管理局备案
在获得发改委和商务部门的核准或备案后，外资企业需向外汇管理局办理境外直接投资外汇登记。
尽职调查和项目架构设计
在投资过程中，境内企业需要进行尽职调查，包括法律、财务、税务、技术、商业、人力资源等方面的尽职调查，以评估和防范项目风险。
根据尽职调查结果，企业还需要进行境外投资架构的设计和搭建。
签署前期交易文件
为防止项目信息泄露，境内企业需要与合作方和中介服务机构签署保密协议、投资意向书、谅解备忘录、条款清单等前期交易文件。
与监管机关沟通
在签署前期交易文件后，境内企业应及时与有关监管部门进行沟通，了解投资项目是否符合国家监管政策，并办理核准或备案手续。
完成最终交易
在完成上述所有步骤后，外资企业的投资流程才正式完成，可以开始进行实际的投资活动。
建议外资企业在进行投资时，应提前规划，充分准备，确保所有相关手续和审批流程顺利进行，以降低投资风险。