蔡司三坐标编程通常涉及以下步骤：
建立工件坐标系
包括附加坐标系、基本坐标系、元素坐标系和机器坐标系。
建立安全平面
用于确保测量过程中的安全性，防止探针与工件发生碰撞。
采集测量元素
包括自动识别元素、构造元素以及从模型上采集元素。
元素策略及评定设置
根据工件的特性和测量要求，设置元素的测量策略和评定标准。
输出测量特性
可以输出基本输出、角度输出、距离输出、形状输出和位置输出等。
安全五项检查
包括安全平面、安全距离、回退距离、探针组的设定和探针的设定，确保测量过程的安全性。
运行程序
点一下运作程序图标，设定运作程序流程的主要参数，然后启动程序进行自动测量。
具体编程时，可以根据工件的实际情况和测量需求，选择合适的探针和测量元素，建立相应的坐标系和安全平面，然后进行元素的采集和策略设置，最后运行程序完成测量并输出结果。
建议在实际编程过程中，可以参考蔡司三坐标的官方文档和操作手册，以确保编程的准确性和效率。