在数控编程中，绘制内半圆弧主要使用G02和G03指令，具体方法如下：
G02指令：
用于顺时针圆弧插补。
语法：`G02 X终点X轴坐标 Y 终点Y轴坐标 I X轴圆心偏移量 J Y轴圆心偏移量 F 插补速度`
示例：
```
G02 X15 Y10 I5 J0 F100
```
解释：终点坐标为（15,10），圆心偏移量为（5,0），插补速度为100。
G03指令：
用于逆时针圆弧插补。
语法：`G03 X终点X轴坐标 Y 终点Y轴坐标 I X轴圆心偏移量 J Y轴圆心偏移量 F 插补速度`
示例：
```
G03 X5 Y10 I-5 J0 F100
```
解释：终点坐标为（5,10），圆心偏移量为（-5,0），插补速度为100。
注意事项：
圆弧的起点需要与当前刀具位置相匹配。
可以根据需要选择合适的插补速度，并根据实际情况进行坐标和圆心偏移量的调整。
在编程时，确保使用正确的坐标系和坐标值。
示例代码：
顺时针绘制内半圆：
```
G90 ； 设置绝对坐标模式
G02 Xc, Yc R Xs, Ys
```
逆时针绘制内半圆：
```
G90 ； 设置绝对坐标模式
G03 Xc, Yc R Xs, Ys
```
通过以上方法，可以实现内半圆弧的精确编程。根据具体的机床类型和数控系统，可能还需要调整其他参数和指令。