在数控编程中，使用R5圆弧进行补偿的步骤如下：
设定刀补指令中的刀具半径
使用刀尖圆弧半径比较精确的R5刀片。
在数控程序中正确使用刀尖圆弧补偿功能。
对刀时，选择正确的对刀方法，并正确输入T（刀具半径补偿值）和R（圆弧半径）值。
使用G02和G03指令进行圆弧插补
G02表示顺时针圆弧插补。
G03表示逆时针圆弧插补。
在编程指令中加入R5数值，表示刀具的运动轨迹会向内缩进5mm。
格式说明
圆弧插补指令的格式为：G02/G03 X_Y_I_ J_ F_或G02/G03 X_ Y_ R_ F_。
其中，X、Y为圆弧终点坐标。
I、J为圆弧起点到圆心在X、Y轴上的增量值。
R为圆弧半径。
F为进给量。
R值的判断
在圆弧切削时，如果圆心角q≤180°，R为正值。
如果圆心角q>180°，R为负值。
当I、J和R同时被指定时，R指令优先，I、J无效。
R不能用于整圆切削，整圆切削只能用I、J编程。
当I、J为零时，可以省略。
注意事项
使用圆刀时，在圆刀具补偿页面输入R值1，T值8，X对刀和平时一样，Z对圆刀中心。
通过以上步骤，可以在数控程序中正确输入R5圆弧补偿值，从而实现精确的圆弧加工。