真空系统工程 是指在真空环境下进行的一系列技术活动，包括真空制造、真空检测、真空泵和真空阀等设备的设计和制造。它涉及到物理学、化学、机械工程等多个学科，并在高新技术、材料加工、半导体制造、真空蒸镀等领域有着广泛的应用。
真空系统通常包括以下部分：
真空泵：
用于从容器中抽出气体，达到所需的真空度。
真空阀门：
用于控制气体的进出。
真空管道：
连接各个真空设备，形成真空系统。
真空过滤装置：
用于过滤和净化真空系统中的气体。
真空测试仪：
用于测量和监控真空系统的性能。
控制系统：
如PLC程序控制系统，用于自动化控制真空系统的运行。
真空系统工程在许多工业过程中发挥着重要作用，例如在硅热法炼镁工艺中，采用余热蒸汽喷射真空泵代替传统的真空机组，取得了良好的效果，具有使用寿命长、无污染、抽气量大、抽速快等优点。此外，真空系统还广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。
设计真空系统时，需要根据被抽容器对真空度的要求，选择适当的真空系统设计方案，进行选泵计算，确定导管、阀门、捕集器、真空测量元件等的合理配置，并最终绘制出真空系统的装配图和零部件图。