软件过程审核通常包括以下步骤：
审核准备
在头一年的年底制定好下一年的审核计划，审核频次建议根据上一次审核的质量等级来确定。
划分过程步骤
根据生产过程的工序来划分过程步骤，以便于进行具体审核。
制定审核计划
根据审核频次和过程步骤，制定审核计划，审核计划可以精确到月，最好精确到周。
工具与材料准备
准备相关的审核工具，如控制计划、PFMEA、过程审核表、质量保证文件（布局图、参数表、自检作业指导书、包装作业指导书、检具作业指导书等）。
现场审核
对生产工位、产品、现场操作工、班长、主管和质量工程师进行审核，检查他们是否按照文件要求执行工作。
方法/步骤审核
检查生产过程中使用的方法和步骤是否符合相关标准和准则，例如检具的使用方法、包装的方法、检测的方法等。
6M审核
对人（Man）、机（Machine）、料（Material）、法（Method）、环（Environment）、测（Measurement）进行审核，确保生产过程的符合性和有效性。
沟通与反馈
在审核过程中，确保有效的沟通，记录发现的问题，并在会后进行跟踪处理。
评审报告
根据审核记录，编写详细的评审报告，包括发现的问题、严重程度、处理建议等。
持续改进
根据审核结果进行持续改进，提高生产过程的质量和效率。
通过以上步骤，可以系统地进行软件过程审核，确保软件开发的顺利进行和高质量交付。