蔡司三次元编程通常涉及以下步骤：
建立工件坐标系：
这是编程的第一步，需要确定工件在测量系统中的位置和方向。
建立安全平面：
安全平面用于防止探针与工件发生碰撞，确保测量过程的安全性。
采集测量元素：
这包括自动识别工件上的特征（如点、线、圆等）和手动输入理论坐标。
元素策略及评定设置：
根据工件的特性和测量要求，设置元素的测量策略和评定标准。
输出测量特性：
根据需要输出测量结果，如基本输出、角度输出、距离输出、形状输出和位置输出。
安全五项检查：
包括安全平面、安全距离、回退距离、探针组的设定和探针的设定，确保编程过程的安全性。
此外，蔡司三次元使用的编程软件主要有以下几种：
Zeiss CALYPSO：这是一款专门为蔡司三次元测量设备定制的编程软件，具有强大的功能和易于使用的界面，支持多种测量任务，包括点、线、圆、角度、曲面等各种形状的测量。用户可以通过CALYPSO编写测量程序，设置测量任务和参数，进行数据采集和分析，生成测量报告等操作。CALYPSO还支持与其他软件和设备的数据交互，方便用户进行数据处理和管理。
ZEMAX：这是一款光学设计和仿真软件，虽然主要用于光学系统的设计和仿真，但也可以用于某些类型的三次元测量编程。
CODE V：这是一款专业的光学设计软件，也适用于某些高级的三次元测量编程任务。
建议根据具体需求和设备选择合适的编程软件，并参考蔡司提供的官方培训资料和操作指南进行编程。