三坐标测量编程的步骤通常包括以下几个方面：
确定测量任务
明确测量对象、特征和精度要求。
确定测量方法和参数。
建立坐标系
根据测量对象和要求选择合适的坐标系（直角坐标系、极坐标系等）。
确定坐标系的原点、轴向和单位。
数据采集
使用三坐标测量仪器进行测量，并将数据导入计算机或编程软件。
编写测量程序
根据测量任务和数据编写程序，包括操作指令和数据处理算法。
考虑测量精度、仪器特性和数据处理方法。
执行测量程序
将程序加载到测量仪器中，按程序要求执行测量。
注意测量顺序、方法和精度。
数据处理与分析
对测量数据进行处理和分析，包括清洗、异常值处理、拟合和统计分析。
其他步骤
根据需要导入CAD模型，设置工件坐标系。
创建测量路径，规划测量点。
检查和调试程序，确保其正确性和稳定性。
运行程序，进行实际测量。
分析和记录测量结果，生成报告和图表。
根据测量结果对程序进行优化和调整。
这些步骤可能因设备、软件和测量任务的不同而有所变化，实际操作中需要根据具体情况进行调整和灵活应用。建议详细阅读设备的用户手册和编程软件的帮助文档，以确保编程的准确性和效率。