刀具半径补偿编程可以通过以下步骤进行：
选择平面
使用G17、G18、G19指令选择合适的平面，例如XY平面、XZ平面或YZ平面。
启动刀具半径补偿
在适当的位置启动刀具半径补偿，通常在进刀点或直线段的起始位置。可以使用G90（绝对坐标）或G91（增量坐标）模式移动到起点。
设置刀具半径补偿类型
根据加工需求选择刀具半径补偿类型，G41为左补偿，G42为右补偿，G40用于取消刀具半径补偿。
设定刀具半径补偿值
设定刀具半径补偿值（D值），即刀具半径的大小。这个值通常在MDI方式下输入，并在G41或G42指令之后跟随D指令。
编程切削轨迹
在切削轨迹前面加入G00或G01指令，然后根据加工轮廓进行编程。例如，使用G01进行直线切削，使用G02或G03进行圆弧切削。
取消刀具半径补偿
在加工路径结束后，使用G40指令取消刀具半径补偿，以返回正常路径。
示例编程
```gcode
； 初始化程序
G90 G94 G
； 刀具退回Z向参考点
G74 Z0
； 主轴正转，600r/min
M03 S600
M03 S600
； 刀具定位
G00 X0 Y0
Z10.0
M08
Z10.0
M08
； 刀具Z向下刀
G01 Z-5.0 F50
G01 Z-5.0 F40
； 建立左补偿，进给速度100mm/min
G41 G01 X-23.0 D01 F100
； 轮廓延长线上建立刀补
Y-15.0
Y-15.0
； 采用刀具半径补偿加工内轮廓
G03 X-15.0 Y-23.0 R8.0
； 取消刀具半径补偿
G40
```
注意事项
确保刀具半径补偿值（D值）与实际使用的刀具半径一致，并在每次更换刀具时重新设定。
补偿方向的选择应确保加工轮廓的准确性，外轮廓路径位于切削轮廓左侧时选择右补偿，反之则选择左补偿。
补偿值的计算应准确，通常通过加工零件的CAD模型或其他测量方法得到。
刀具半径补偿编程的具体语法和指令可能因数控系统和编程语言的不同而有所差异。
通过以上步骤和示例，可以有效地进行刀具半径补偿编程，确保加工出符合要求的工件形状。